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Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范,具有良好的可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容。客戶須確保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。
模塊化止回閥
1.500" HF C 型密封
3 端口,側(cè)面
316L SST SEMI F20 VIM/VAR
標(biāo)準(zhǔn)表面處理
純度
材料
配置
端口數(shù)
密封類型
底座尺寸
產(chǎn)地:美國(guó)
工作壓力:3000 psig
零件類型:組合式止回閥
配置:側(cè)面
表面處理:16 Ra
工作溫度:-28 至 200 ℃(20 至 400 ℉)
彈簧材料:ELGILOY
底座尺寸:1.500" HF
密封類型:C 形密封
端口數(shù):3 端口
閥體材料:316L SST semi F20 VIM/VAR
純度等級(jí):標(biāo)準(zhǔn)表面處理
清潔:電拋光和鈍化
爆破壓力:12000 psig
密封材料:氟橡膠
流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案
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