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Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范,具有良好的可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。
CDV:1/4" 2 孔閥 (1-2)
外螺紋面密封
氣動(dòng)操作
NC.,PCTFE (Kel-F),316L SST SEMI F20
高純度
純度
材料
底座材料
傳動(dòng)類型
連接 4 型(可選)
連接 3 型(可選)
連接 2 型
連接 1 型
端口配置
產(chǎn)地:美國(guó)
工作壓力:真空至 150 psig
端口配置:2 端口閥 (1-2)
連接 1 類型:外螺紋端面密封
連接 2 類型:外螺紋端面密封
工作溫度:-40 至 150 ℉(-40 至 66 ℃)
閥體材料:316L SST semi F20
純度等級(jí):高純度
閥座材料:PCTFE (KEL-F)
執(zhí)行機(jī)構(gòu)特性:1/8"-27 npt
隔膜材料:elgiloy
流量系數(shù):0.3 cv
潤(rùn)濕表面光潔度:10 ra
清洗:超聲波清洗和電拋光
驅(qū)動(dòng)類型:氣動(dòng)直流操作
爆破壓力:4500 psig
執(zhí)行壓力:65 至 125 psig
連接尺寸:1/4 英寸
流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案
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