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產(chǎn)品介紹

漿料切片晶圓的表面,以及良好的翹曲和 TTV 值,使 DS 261 成為 12 英寸半導(dǎo)體行業(yè)帶頭的線鋸。DS 261 具有良好的技術(shù)和質(zhì)量性能,并在市場(chǎng)上廣泛使用。除硅外,多功能 DS 261 還可切割不同尺寸的石英、陶瓷、藍(lán)寶石或砷化鎵等其他硬脆材料。DS 261 從構(gòu)造到加工的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)保證了大產(chǎn)量。

性能特點(diǎn)

  • 6 系列發(fā)布的新操作員引導(dǎo) HMI 和電氣系統(tǒng)
  • 應(yīng)用范圍廣:不同尺寸的硅、石英、砷化鎵等硬脆材料
  • 成熟的漿料技術(shù)和 DW 就緒
  • 優(yōu)化的漿料溫度控制
  • 60 步配方可實(shí)現(xiàn)良好工藝調(diào)整
  • 自動(dòng)化切割過程和可訪問性
  • 可選的工件方向

技術(shù)參數(shù)

  • 卷筒紙長(zhǎng)度 [mm]:410
  • 最大限度。 工件尺寸[mm]:Ø305mm×400(Ø18″可根據(jù)要求)
  • 線速[m/s]:15(900m/min)
  • 鋼絲張力最大限度 [N]:50
  • 導(dǎo)絲輥軸距[mm]:600
  • 切削液:175
  • 機(jī)器尺寸[L×W×H] [mm]:2980×4120×3340
  • 機(jī)器重量[kg]:12000

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