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該系統(tǒng)是直線推桿 LSMA-200(垂直行程 100 mm)和 XY 工作臺 LSMA-167(行程 25 x 25 mm)的組合??筛鶕?jù)要求提供不同的階段組合和行程行程。作為選項,可以安裝旋轉臺 RTHM-190。
旋轉臺(可選)RTHM-190
旋轉:無限制
重復性:20 arc-sec
分辨率:2 arc-sec
扭矩:1 Nm
角速度:8 rpm
機械,比率:蝸輪,180:1
電機:步進
伺服
升降臺LSMA-200
行程:100 ... 200 mm
重復性:1µm
分辨率:0.25 µm
負載能力:4 kg
速度: 20 mm/sec(伺服)
機械,絲杠導程:絲杠,0.5 mm
電機:步進
伺服
XY載物臺XY-LSMA-167-25x25
重復性:1 µm
分辨率:0.25 arc-sec
升程平移:0.25 mm/rev絲杠
1mm/rev滾珠絲杠
速度:max.20 mm/sec(伺服)
機械,絲杠導程:絲杠0.25 mm,滾珠絲杠 1 mm
電機:步進
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