ONTO聲學(xué)薄膜計(jì)量系統(tǒng)MetaPULSE G

MetaPULSE 系列是金屬薄膜厚度測(cè)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MetaPULSE G 系統(tǒng)可在所有金屬薄膜上提供良好的性能，并針對(duì)在邏輯、內(nèi)存和 3D 封裝工藝中至關(guān)重要的薄單層和多層應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。Onto Innovation 的PULSE技術(shù)提供了一種非接觸式、非破壞性技術(shù)，可測(cè)量產(chǎn)品晶圓上多層金屬薄膜疊層中每一層的厚度，而不會(huì)受到底層或?qū)蛹?jí)的干擾。與光學(xué)和 X 射線技術(shù)不同，PULSE 技術(shù)使用時(shí)間分辨聲學(xué)信號(hào)測(cè)量薄膜厚度，該聲學(xué)信號(hào)可用于有源芯片，無需特殊的計(jì)量測(cè)試場(chǎng)所。

• 使用飛秒超快激光進(jìn)行在線光聲測(cè)量
• 小光斑尺寸 (8x10µm) 可在 15µm 的場(chǎng)地尺寸內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
• 超越節(jié)點(diǎn)要求的內(nèi)在工具對(duì)工具匹配
• EASy 建模算法
• 用于維護(hù)車隊(duì)控制的配方管理器
• 偏移檢測(cè)

• 高達(dá) 60wph 的高吞吐量
• 金屬薄膜的典型厚度為 50Å 至 8µm，可選擇延伸至 12um
• 能夠處理 150、200、300 和 450 毫米晶圓的自動(dòng)化選項(xiàng)