FORMFACTOR手動探針系統(tǒng)PM8

FormFactor 的 Cascade PM8 手動探針系統(tǒng)旨在為高達 200 mm 的分析探測應(yīng)用提供高度穩(wěn)定、符合人體工程學(xué)和靈活的探測平臺，例如器件和晶圓表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測和 MEMS。創(chuàng)新的精細滑動卡盤平臺提供大范圍粗動和微米級微動，

簡化測量?；◢弾r板可以承受任何熱或機械影響，并確保完整的系統(tǒng)穩(wěn)定性。PM8 的堅固結(jié)構(gòu)非常適合所有高達亞太赫茲范圍的射頻應(yīng)用，由 WinCal XE 校準軟件支持，包括 LRRM、LRM+、NIST 風格的 TRL 和混合校準方法。

獨特的可移動顯微鏡橋選件可輕松且符合人體工程學(xué)地對高達 200 毫米的觀察系統(tǒng)進行粗調(diào)和微調(diào)，從而使所有 FA 和檢測任務(wù)以及晶圓級可靠性 (WLR) 測試變得容易。PM8 可以使用各種附件進行升級，例如用于 FA 應(yīng)用的激光切割機和遙控手動定位器，以及用于校準基板和拋光墊的特殊設(shè)計的卡盤，用于高頻應(yīng)用。探針卡可以很容易地用于測試，并且可以通過少的設(shè)置調(diào)整來測試封裝的部件。

• 力學(xué)

高穩(wěn)定性花崗巖底座

X 軸和 Y 軸的獨立粗略移動，結(jié)合低至亞微米范圍的輕松微調(diào)

1 µm 可重復(fù)分離行程

高測量精度和可重復(fù)性

快速導(dǎo)航和高精度探頭定位

• 高靈活性

可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置

多種附件：熱卡盤、電動顯微鏡和定位器、暗盒等

40 毫米壓板高度可調(diào)

升級路徑以滿足您未來的需求

晶圓和封裝測試之間的快速轉(zhuǎn)換

• 便于使用

低調(diào)、簡單的設(shè)計

簡單且符合人體工程學(xué)的操作

• 雙面選項

正面或背面儀器，例如：積分球、光纖設(shè)置、壓力模塊

正面或背面探測能力

訪問被測設(shè)備 (DUT) 的頂部和底部

高精度光測量

PS-ACC-HDTV：

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數(shù)字電視選項