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一種用于波前控制的多功能可變形反射鏡系統(tǒng)。
流行的Multi-DM系列以易于使用的包裝提供復雜的像差補償。這種類型的系統(tǒng)具有137或140個準確控制的元件和低致動器間耦合,非常適合廣泛的應用,包括顯微鏡、天文學、視網(wǎng)膜成像和激光束成形。
MEMS 可變形反射鏡的架構(gòu)可實現(xiàn)當今任何可變形反射鏡中快的響應時間,并且精度僅受電子設備限制。我們的標準驅(qū)動器可對整個范圍進行14位控制,使我們的可變形反射鏡具有開箱即用的精度。如果需要更高的精度,可以使用更高的分辨率。
設計概念簡單,但功能強大
工作溫度:-10C – 30C
儲存溫度:-10C – 80C
相對濕度:< 30%RH
鏡面涂層:鋁、金或保護銀
窗口:可提供AR涂層
遲滯:無
步長:亞納米(平均值)
表面類型:連續(xù)(DM)
填充系數(shù):>99%
表面形貌:<20nm RMS
執(zhí)行器總數(shù):140
整個孔徑的致動器計數(shù):12
物理行程(μm):5.5
波前行程 (µm):11.0
孔徑(毫米):4.95
間距(μm):450
產(chǎn)地:美國
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