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使用常規(guī)的光刻技術(shù),在標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體周期中以GaAs高遷移率異質(zhì)結(jié)構(gòu)制造探測器。成像傳感器在單個晶片上制造。該過程確保了等離子體檢測器參數(shù)的高度均勻性和可重復(fù)性(像素到像素的偏差響應(yīng)度在20%的范圍內(nèi))。每個檢測器單元的室溫響應(yīng)率高達(dá)50 kV / W,具有讀出電路,在10 GHz到1 THz的頻率范圍內(nèi)的等效噪聲功率為1 nW /√Hz。該檢測機制基于激發(fā)二維電子系統(tǒng)中等離子體振蕩并隨后進(jìn)行整流的機制。整流發(fā)生在電子系統(tǒng)中產(chǎn)生的特殊缺陷上。
太赫茲相機是主動檢測設(shè)備,需要外部THz源。提供基于IMPATT技術(shù)的太赫茲波源。所有的TERA系列太赫茲成像相機都使用具有相同功能和空間分辨率的相同類型的探測器。各型號之間的差異在于其傳感器陣列中的像素數(shù)量及其有效成像區(qū)域。除了標(biāo)準(zhǔn)THz相機機型號外,還提供定制的解決方案,以滿足各種配置和幾何形狀要求。
256像素(16 x 16陣列)
1.5毫米像素間距
NEP = 1 nW /√Hz
11.5厘米x 11.5厘米x 4.2厘米設(shè)備尺寸
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