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26系列閥門(mén)是波紋管密封的,專(zhuān)為泵送系統(tǒng),半導(dǎo)體技術(shù),研究系統(tǒng)等領(lǐng)域的高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。本系列高真空角閥帶波紋管饋入裝置,模塊化設(shè)計(jì)。
執(zhí)行器類(lèi)型
手動(dòng)執(zhí)行器(手輪可拆卸)
電磁執(zhí)行器(單閉合彈簧NC,帶控制電子元件)
氣動(dòng)執(zhí)行器(雙作用)
氣動(dòng)執(zhí)行器(帶閉合彈簧NC或打開(kāi)彈簧NO)
VAT公司由Siegfried Schertler于1964年創(chuàng)立,是一家總部位于瑞士Hagg(靠近St.Gallen)的跨國(guó)公司。在真空閥門(mén)、模組、波紋管、半導(dǎo)體及真空鍍膜行業(yè)的相關(guān)服務(wù)、研發(fā)領(lǐng)域,是全球先進(jìn)的研發(fā)和制造商。公司是經(jīng)ISO 9001和ISO14001認(rèn)證的,并定期進(jìn)行其它的外部評(píng)估。
密封:FKM(VITON)
饋入裝置:波紋管
滲漏率:<1.10-9 mbar ls-1
泄漏率底座:<1.10-9 mbar ls-1
公稱(chēng)內(nèi)徑(ID)(mm)(inch):10(3/8”) - 250(10”)
閥體材質(zhì):鋁; 不銹鋼
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