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VAT真空氣動(dòng)閥門(mén)264(26系列)26432-KA11-0001,26428-KE41一000

產(chǎn)品介紹

26系列閥門(mén)是波紋管密封的,專(zhuān)為泵送系統(tǒng),半導(dǎo)體技術(shù),研究系統(tǒng)等領(lǐng)域的高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。本系列高真空角閥帶波紋管饋入裝置,模塊化設(shè)計(jì)。

執(zhí)行器類(lèi)型

手動(dòng)執(zhí)行器(手輪可拆卸)

電磁執(zhí)行器(單閉合彈簧NC,帶控制電子元件)

氣動(dòng)執(zhí)行器(雙作用)

氣動(dòng)執(zhí)行器(帶閉合彈簧NC或打開(kāi)彈簧NO)

VAT公司由Siegfried Schertler于1964年創(chuàng)立,是一家總部位于瑞士Hagg(靠近St.Gallen)的跨國(guó)公司。在真空閥門(mén)、模組、波紋管、半導(dǎo)體及真空鍍膜行業(yè)的相關(guān)服務(wù)、研發(fā)領(lǐng)域,是全球先進(jìn)的研發(fā)和制造商。公司是經(jīng)ISO 9001和ISO14001認(rèn)證的,并定期進(jìn)行其它的外部評(píng)估。

規(guī)格參數(shù)

密封:FKM(VITON)

饋入裝置:波紋管

滲漏率:<1.10-9 mbar ls-1

泄漏率底座:<1.10-9 mbar ls-1

公稱(chēng)內(nèi)徑(ID)(mm)(inch):10(3/8”) - 250(10”)

閥體材質(zhì):鋁; 不銹鋼


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