美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器5850EM產品規(guī)格

美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器5850EM產品規(guī)格

產品型號質量流量控制器
微分
龐大的客戶群與成熟的長期表現(xiàn)

性能
流量范圍（滿量程容量）0.06 SCCM - 30000 SCCM
準確性
1％F.S.含。線性度

1.5％F.S.含。線性度> 20 SLPM

重復性
率的0.2％的

線性度
±0.5％F.S. （包括精度）

響應時間
常閉閥：<3秒

可選：600毫秒

多氣體和范圍可配置
-

壓力瞬變不敏感 -
控制范圍
2-3％ - 100％

箱數
N / A

閥門關閉
N / A

零點穩(wěn)定性<±0.5％F.S.每年
機械
密封材料金屬
純度水平/表面處理
316L VAR，316L，和高合金鐵素體不銹鋼

接液材料
閥座：316L，Viton®氟，丁腈橡膠，或的Kalrez®特氟隆

閥選
常閉，常開

計（無閥）

評級
很高溫度65℃
差壓量程
5 - 50磅（天然氣和范圍而定）

最大壓力
1500 PSI

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能 -

狀態(tài)指示燈MFC健康，網絡狀態(tài)
警報
控制閥輸出，網絡中斷

診斷/服務端口
N / A

 

電動
模擬通信
4-20毫安

0-5伏

數字通信
-

電氣連接
15針D型接口（DA-15P）

電源/功耗
常閉閥：3.25瓦特

常開閥：10.5瓦特

合規(guī)
EMC
每61326（89/336 / EEC）

環(huán)境合規(guī)性
N / A
0.06 SCCM - 30000 SCCM

10 - 100 SLPM氮
表面光潔度
5鐳內部完成（可選）

電解濕潤表面（可選）

電解濕潤表面（可選）

增強的過程（5鐳平均）的內表面（可選）

高純度VAR 316L不銹鋼

準確性
1％F.S.包括線性度

1.5％F.S.包括線性度（> 20 SLPM）

1％F.S.包括線性度

重復性
0.25％利率

0.2％的速率

響應時間
常閉閥

<3秒

常閉閥

<3秒

多氣體和范圍可配置
N / A

N / A

壓力瞬變不敏感
每psi氮0.008％

每psi到150 psig的0.03％

診斷能力
MFC健康，網絡狀態(tài)

MFC健康，網絡狀態(tài)

模擬通信
4-20毫安

0-5伏

4-20毫安

0-5伏

數字通信
N / A

 

現(xiàn)場總線

RS485 S-協(xié)議

RS485 L-協(xié)議

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上海連航機電科技有限公司是國內專業(yè)的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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