美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性

美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性
GF125系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表擁有這一切的MFC。
超快速的響應(yīng)時間和純度的很高水平 - 的GF125系列的第二代多變量，壓力瞬變不敏感（PTI），金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表。帶上PTI質(zhì)量流量控制技術(shù)，市場，GF125最小化處理氣流的變化，由于壓力和溫度的波動。標(biāo)準(zhǔn)MultiFlo?技術(shù)使一個MFC支持數(shù)千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其結(jié)果是：小型，低成本氣板，通過消除使用壓力調(diào)節(jié)器，壓力傳感器點的需要，和相關(guān)硬件，具有業(yè)界很佳的PTI性能相結(jié)合，以最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
超快速建立時間：300毫秒 - <700毫秒
滿量程流量可達300 SLPM
超高純度流動路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
SEMI F20標(biāo)準(zhǔn)的濕材料
高速ARM處理器耐腐蝕哈氏合金T-崛起傳感器
快速作用，無隔膜閥組件是由壓力差的影響，并且測試了超過七百萬次循環(huán)沒有發(fā)生任何故障
何首烏技術(shù)提供了無與倫比的靈活性，一臺設(shè)備可以設(shè)置為成千上萬種不同氣體和流量范圍的配置，而不??從氣體行移除MFC或影響精度
當(dāng)?shù)仫@示指示流量，溫度，壓力和網(wǎng)絡(luò)地址用于氣體供給和隔離閥問題的簡單的故障診斷
可選的高精度配置
DeviceNetTM，RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)點
通過與快動膜片免費閥組件結(jié)合布魯克斯的專利流量傳感器技術(shù)，GF125系列比起來其他質(zhì)量流量控制器可提供3倍的速度響應(yīng)和穩(wěn)定時間
對于改善的干式優(yōu)化濕潤流路
與MultiFloTM，MFC滿刻度流量范圍可以被重新按比例縮小通常由3倍：1與由規(guī)格上精度，量程或泄漏沒有影響，對于很佳的工藝和庫存靈活性
一個完整的數(shù)據(jù)庫氣體提供最廣泛的工藝氣體覆蓋
壓力瞬變不敏感（PTI）功能，克服了強烈的反應(yīng)，小進氣壓力波動傳統(tǒng)的微生物燃料電池的限制。其結(jié)果是穩(wěn)定的性能和可預(yù)測的準(zhǔn)確性。
GF125高精度（HA）具有卓越的低精度的設(shè)定值能夠與一個替代兩個（高，低流量）質(zhì)量流量控制器，提供了直接的成本節(jié)省，同時釋放氣體線更大的氣體面板的靈活性。
方便用戶的顯示和獨立的診斷/服務(wù)口岸艾滋病設(shè)備安裝，監(jiān)控和故障排除
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體
MOCVD
需要高純度的全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
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