美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器性能參數(shù)

美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器性能參數(shù)
流量范圍（滿量程容量）
3 SCCM - 5 SLM（N2當量）

壓力瞬變不敏感
<1％S.P.長達5磅/秒的上游按下。穗

準確性
±1％S.P. 10-100％F.S.

±1％S.P.加上±0.04％F.S. 2-10％F.S.‘

重復性<±0.15％S.P.
線性度
包括在精度

響應時間
<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，F(xiàn)S）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，F(xiàn)S）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，F(xiàn)S）

多氣體和范圍可配置
-

控制范圍
1 - 100％

閥門關閉
<F.S. 0.5％ N2

零點穩(wěn)定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數(shù)
跨度：0.05％S.P./°C

零：0.005％F.S./°C

機械
密封材料
金屬

純度/表面處理4μ英寸鐳水平
接液材料
SEMI F20 HP標準

316L VIM / VAR

哈氏合金C-22

316L不銹鋼

304不銹鋼

KM-45

閥選
常閉

評級
很高溫度
50℃

差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID

861 - 5000 SCCM = 10-45 PSID

*典型壓降。聯(lián)系方式布魯克斯技術支持以獲取更多信息。

最大壓力
100 PSIA最大

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態(tài)指示燈
MFC健康

網(wǎng)絡狀態(tài)

警報
傳感器輸出，控制閥輸出，超溫，防浪涌電源/凹陷，網(wǎng)絡中斷，傳感器漂移，流錯誤，閥門泄漏

診斷/服務端口
通過2.5毫米接口RS485

顯示
頂部安裝電子旋轉的整合LCD

可視角度：固定

視距：10英尺

單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）

分辨率：0.1（單位）

電動
模擬通信
0-5伏

數(shù)字通信
的DeviceNet?

RS485

電氣連接
模擬/ RS485通過9針“D”連接器

的DeviceNet?通過5針“M12”連接器

電源/功耗
模擬/ RS485：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）

的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電

（在典型的操作條件下）

合規(guī)
EMC
EC指令2004/108 / EC

CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試）

環(huán)境合規(guī)性
RoHS指令（2011/65/2006）

REACH指令EC 1907/2006

美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。

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