美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）數(shù)字式質(zhì)量流量控制器GF135實(shí)時(shí)流錯(cuò)誤檢測(cè)

美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）數(shù)字式質(zhì)量流量控制器GF135實(shí)時(shí)流錯(cuò)誤檢測(cè)
在流量傳感器導(dǎo)致更高的工藝污染堆積比表示實(shí)際流量。在這個(gè)過(guò)程中堆積的污垢限流器的結(jié)果比顯示實(shí)際流量低。流程污染上的閥孔或座導(dǎo)致泄漏過(guò)去閥。所有這些情況可能導(dǎo)致丟失的晶圓成本數(shù)千人。當(dāng)使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的MFC，這些錯(cuò)誤不能無(wú)需停止生產(chǎn)運(yùn)行流程檢查檢測(cè)。該GF135擁有正在申請(qǐng)專利的實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)和用率衰減的（ROD）技術(shù)，是免疫的趨勢(shì)典型的MFC破壞/退化模式，確保準(zhǔn)確，可靠的診斷能力。經(jīng)過(guò)基線建立在工具啟動(dòng)，該GF135可以檢測(cè)流量的變化，漂移和泄漏率。
安裝GF135后，一個(gè)調(diào)試?yán)虅?chuàng)建一在實(shí)際工藝條件下的性能基準(zhǔn)。在晶圓處理過(guò)程中，設(shè)備會(huì)自動(dòng)流量誤差檢測(cè)在每一個(gè)新的過(guò)程設(shè)置點(diǎn)的讀數(shù)，并將結(jié)果進(jìn)行比較基線。專有桿測(cè)量技術(shù)暫時(shí)停止從工具上游輸送氣體的供給，同時(shí)保持在流進(jìn)處理室所需流量。高精度壓力測(cè)量而氣體被從入口容積和一個(gè)貧采取先進(jìn)的信號(hào)處理算法計(jì)算ROD流速即時(shí)的。之前流至處理受減少壓力，上游供應(yīng)重新建立與沒(méi)有擾動(dòng)的交付流程。通過(guò)計(jì)算在流量在晶片處理期間各種設(shè)定點(diǎn)時(shí)，MFC檢測(cè)到任何傳感器或旁路堵塞。它還檢測(cè)如果傳感器偏移由于堵塞和漂移明顯的影響發(fā)展本身不同在不同的設(shè)定點(diǎn)。同樣的方法是使用時(shí)，MFC給出一個(gè)零設(shè)定值計(jì)算閥門(mén)泄漏。這使得MFC測(cè)量零點(diǎn)。本MFC可舉報(bào)閥門(mén)泄漏，傳感器偏移和流過(guò)一個(gè)偏移量工具記錄接口協(xié)議，以及自動(dòng)更正本身如果用戶開(kāi)啟該功能。很后，在MFC將該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為一年可以使用歷史數(shù)據(jù)的變化情況。通過(guò)提供流量變化自動(dòng)監(jiān)控，GF135能夠與晶片的實(shí)時(shí)警告臂用戶影響流動(dòng)偏差。

超快響應(yīng)
通過(guò)結(jié)合布魯克斯的專利流量傳感器技術(shù)與高速ARM處理器，快速的動(dòng)膜片免費(fèi)閥門(mén)裝配時(shí)，GF系列提供高達(dá)3倍的速度響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間相比其他質(zhì)量流量控制器，
實(shí)現(xiàn)：
?通過(guò)減少非生產(chǎn)性的流動(dòng)改進(jìn)晶片的產(chǎn)量解決步驟
?嚴(yán)重腐蝕和3D需要超快分裝置流程500毫秒蝕刻步驟
?減少分流天然氣消費(fèi)量和相關(guān)的減排成本
?在原子層沉積時(shí)間敏感氣體輸送步驟（ALD）
?進(jìn)程需要一個(gè)緩慢的斜坡氣體導(dǎo)通或時(shí)間流量與用戶之間的關(guān)鍵過(guò)渡可編程的斜坡函數(shù)
美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門(mén)從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
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